中圖儀器NS系列探針接觸式臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,，其主要用于臺階高、膜層厚度,、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量,。

臺階儀工作原理

當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動,。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況,。

測量時通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺移動樣品時掃描其表面，測針的垂直位移距離被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相匹配的電信號并最終轉(zhuǎn)換為數(shù)字點云信號,，數(shù)據(jù)點云信號在分析軟件中呈現(xiàn)并使用不同的分析工具來獲取相應(yīng)的臺階高或粗糙度等有關(guān)表面質(zhì)量的數(shù)據(jù),。

結(jié)構(gòu)

主要組成部分

1、測量系統(tǒng)

（1）單拱龍門式設(shè)計,，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度,。

（2）線性可變差動電容傳感器（LVDC）,，具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達(dá)0.01埃,。高信噪比和低線性誤差,，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

（3）傳感器設(shè)計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量,。測力恒定可調(diào),，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,，實現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量,。

2、工件臺

（1）精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺,，可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié),，三維位置均可以調(diào)節(jié)，利于樣品調(diào)整。

（2）超高直線度導(dǎo)軌,，有效避免運動中的細(xì)微抖動,，提高掃描精度，真是反映工件微小形貌,。

3、成像系統(tǒng)

500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī),，即時進(jìn)行高精度定位測量,。可以將探針的形貌圖像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,，使得測量更加直觀,。

4、軟件系統(tǒng)

測量軟件包含多個模塊,。

5,、減震系統(tǒng)

防止微小震動對測量結(jié)果的影響，使實驗數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確,。

NS系列探針接觸式臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時,，其集成了超低噪聲信號采集,、超精細(xì)運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性,。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準(zhǔn)確測量蝕刻,、濺射,、SIMS、沉積,、旋涂,、CMP等工藝期間沉積或去除的材料；

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS,、Rv,、Rp、Rz等20余項參數(shù),；

3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,，如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中，因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化，或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑,。

2.數(shù)采與分析系統(tǒng)

1）自定義測量模式：支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對位移量的方式來設(shè)定掃描路徑的測量模式,；

2）導(dǎo)航圖智能測量模式：支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖、標(biāo)定數(shù)據(jù),、即時圖像以智能化生成移動命令方式來實現(xiàn)掃描的測量模式,。

3）SPC統(tǒng)計分析：支持對不同種類被測件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析，針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢,。

3.光學(xué)導(dǎo)航功能

配備了500W像素的彩色相機(jī),，可實時將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示，進(jìn)行即時的高精度定位測量,。

4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能

配備了精密XY位移臺,、360°電動旋轉(zhuǎn)平臺和電動升降Z軸，可對樣品的XYZ,、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié),，提高測量精度及效率。

性能特點

1.亞埃級位移傳感器

具有亞埃級分辨率,，結(jié)合單拱龍門式設(shè)計降低環(huán)境噪聲干擾,，確保儀器具有良好的測量精度及重復(fù)性；

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調(diào),，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,，采用超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制，實現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測量,；

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,，杜絕運動中的細(xì)微抖動，真實地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌,。

臺階儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng),，其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、太陽能光伏、光學(xué)加工,、LED,、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,，其對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征,，對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義,。

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）